压电陶瓷片微位移的发展自动测量设备_电子/电路_工程技术_专业信息
陶瓷芯片微位移的开发自动测量设备自动测量设备目录摘录至……………………………………………………………………………………。我Abstrac。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 II 1引言1.1主题研究背景和意义…………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………2 1.3微位移测量技术的发展概况………………………………………………3 1.3.1电气测量技术…………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………的方式的方法... 7 1.3.3 1.4显微测量技术……………………………………………………………………………………………………………………………………………… …………。 。 10.自动操作设备………………………………………………………………。 11 1.5论文的研究目的和主要研究内容………………………………………………。 15. 2微型排量自动测量设备总体方案设计……………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………… …………。 17 2.2微位移测量模块的设计…………………………………………………………。 18 2.3装卸模块的设计…………………………………………………………。 19 2.4零件处理模块的设计…………………………………………………………。 20 2.5本章摘要………………………………………………………………。 。 20 3产生了微小位移自动测量设备…………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………… ……………………。 2l 3.1.1测量模块的结构………………………………………………………………………………一一2l 3.1.2装载和卸载模块的结构………………………………………… ………………。 。 27 3.1.3处理模块的结构…………………………………………………………。 。 28 3.2电气系统…………………………………………………………。 34 3.2.1运动控制系统…………………………………………………………。 。 34 3.2.2电压控制系统…………………………………………………………。 。 35 3.2.3气动控制系统…………………………………………………………。 。 36 3.3软件控制………………………………………………………………。 39 3.3.1微位移自动测量设备控制软件设计………………………………。 。 39 3.3.2人机交互界面设计……………………………………………………。 。 44 3.4本章摘要………………………………………………………………。 45大连工业大学万方数据专业硕士学位论文4误差分析与精密度测试………………………………………………………………………………………………………………………………4.1 4.1测量误差与影响分析的来源…… ………………………………………………。 46 4.2硬件精度检测………………………………………………………………。 47 4.2.1 4.2.2导轨的重复精度……………………………………………………。 。 47电压精度和稳定性……………………………………………………。 。 49 4.3本章摘要………………………………………………………………。 50 5设备应用实验…………………………………………………………51 5.1测量应用实验与结果分析……………………………………………… …………。 51 5.2本章摘要………………………………………………………………。 。 54结{正在阅读……………………………………………………………………………………。 。 55参考文献……………………………………………………………………。 56.硕士学位期间发表学术论文的情况……………………………………………………。 。 58致谢…………………………………………………………………………………………。 。 59大连理工大学学位论文版权使用授权书………………………………………………。 。 60万立方米的数据。大连理工大学专业硕士学位论文1引言1.1学科研究背景和意义压电陶瓷是一种具有压电特性的特殊陶瓷材料，其压电特性是指当陶瓷的内部晶体受到拉应力时产生的应力。压缩应力或剪切应力，晶体将显示极化或产生电场。
相反自动测量设备，当向晶体施加电场以引起极化时，晶体将产生应变或应力。目前自动测量设备，压电陶瓷在精密光学，微机械电子，纳米技术[1-3]等领域发挥着重要作用，并广泛用于声纳检测，医学检测，微驱动装置，导航仪等产品。压电陶瓷压电性能的研究不仅是高效压电陶瓷应用所必需的，而且对于探索材料的压电机理，开发和改进新材料也具有重要意义[4 |。本文测量的陶瓷盘用于激光陀螺仪的位移补偿器中。如图1.1所示，激光陀螺仪是一种光学惯性设备，用于测量物体的旋转速度[5]。其原理是在封闭的圆形光路中从同一光源顺时针和逆时针方向发射两个激光。当圆形光路不相对于惯性空间旋转时，顺时针和逆时针光路长度相同。当激光陀螺仪沿着激光环路平面的轴旋转时，这两个激光将产生光程差[6]。此时，通过测量两个激光束的相位差或干涉条纹的变化，可以计算出闭合光路的旋转角速度。图1.1激光陀螺仪图1.1激光陀螺仪在实际应用中，通常要求激光陀螺仪以稳定的频率工作。因此，闭环光路的腔长变化必须很大小于激光波长9.当前的激光陀螺仪腔体大多使用玻璃陶瓷材料，其扩展为万方数据
