VMR-H3030尼康NIKON高精度图像测量仪VMR-H3030
Nikon NIKON高精度图像测量仪VMR-H3030
NIKON VMR-H3030高精度图像测量仪，精确的模型，可实现亚微米级的不确定度（300 x300x150mm载物台）。 NEXIV VMR-H3030系列该设备具有高精度和多功能功能。 XYZ行程为300×300×150 mm。它不仅可以用于测量各种精密模具和精密零件，还可以用作精密检测室中的主要检测设备。 。 8方向可编程LED环形照明系统，自动图像聚焦和具有扫描功能的激光自动聚焦装置均为标准配置。具有15倍变焦倍率的5段可编程变焦镜头组可以在每个段之间自由切换（放大倍率），以满足低倍率大视野观察和搜索以及高倍率精度测量的需求。 NEXIV VMR-H3030由低热膨胀材料制成的光栅具有很高的精度影像测量仪，加上合理的布局和坚固的硬件设计，其测量不确定度达到亚微米水平，可以满足精密模具的检验。需求。
NIKON VMR-H3030高精度图像测量仪，适合作为精密测试室的主要测试设备；
3个模型（1、2、3类型）每个都有5个放大倍率，可以满足不同视场和放大倍率的要求；
有多种照明方法可供选择，以确保准确检测模具边界；
工作距离长（50 mm）可以满足工件高度方向的空间要求；
高达15倍的变焦倍率可以满足低倍率，大视野观察和搜索以及高倍率精度测量的需求。与无段变焦机制相比，五段固定放大倍数自动变焦机制可以使测量更快，更准确。
应用领域：精密检测室的主要检测设备，模具和精密机械零件的测量。精密口罩
精密机械零件
Nikon NIKON高精度图像测量仪VMR-H3030
Z120X型（带高倍放大头）
具有高精度平台，与高倍放大头配合使用，它可以精确地测量工件的细小部分（例如精密掩模和切屑凸块高度以及其他关键尺寸）。光学放大倍率可达120倍，并且可以测量微距线的宽度；
高速高精度平台有助于快速影像测量仪，准确地测量较大物体的大小；
刻线的上下宽度可以分别测量；
激光自动扫描功能可用于测量芯片上微小凸起的高度和焊球的横截面形状；
可以评估通过激光扫描获得的截面轮廓形状。
应用领域：各种芯片级封装，芯片上凸块的高度，各种精密掩模等。精确掩模，倒装芯片上的凸块，芯片凸块的形貌和颜色代码显示
适用行业：研究实验室，高精度模具，光掩模MEMS，晶圆凸块等。
随着科学技术的飞速发展，产品规格变得越来越精细，因此测量工具必须能够与产品相匹配以提高精度。通用测量仪器已无法满足行业的测量需求。 VMR-H3030为您提供高精度和多种功能的测量质量。
NIKON采用双Y轴光学尺，可以校正工作台移动时可能引起的扭转变形，并改善光学尺的尺寸。
为了防止振动影响测量结果的准确性，VMR-H3030改进了机体的结构并增加了其运动阻力，以减少振动对测量的影响。
高精度载物台的设计将纠正由于XY方向的移动可能产生的额外应力而导致测量数据出错的六个主要因素，这会导致载物台无法在XY方向上滑动。原始光学尺的轨迹。注意事项。
技术参数：
型号
VMR H3030
VMR H3030-Z120X
行程（XxYxZ）毫米
300 x 300 x 150
读取值
0.01μm
承重
30kg
测量精度
U 1X U 1Y
0.6+ 2L /1000μm
U 2XY
0.9+ 3L /1000μm
Z轴
0.9+ L /150μm
相机
黑白CCD（逐行）；彩色CCD
工作距离
50毫米
大功率
9.8毫米
低电量
32毫米
放大倍率─视野
类型1
0.5X-9.33 x 7毫米7.5X-0.622 x 0.467毫米
1X-4.67 x3.5毫米
120X-0.039 x 0.029毫米
类型2
1X-4.67 x3.5毫米15X-0.311 x 0.233毫米
类型3
2X-2.33 x1.75毫米30X-0.155 x 0.177毫米
自动对焦方法
TTL激光聚焦和图像聚焦
光源类型
底灯，面灯LED环形灯
（内圈/外圈）
底灯（高倍光学头）
表面光，暗视力
电源
AC100〜240V±10％，50 / 60Hz
功耗
最大7A
尺寸和重量（宽x深x高）毫米
仅主体
915 x 1060 x 1300约450kg
主体和防震台
1000 x 1100 x 1900约570kg
控制箱
250 x 550 x 500约31kg
尺寸（宽x深）毫米
2400 x 1400
